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　　相對濕度，指空氣中水汽壓與相同溫度下飽和水汽壓的百分比。而潔凈室相對濕度操控欠好，就有可能使潔凈室整體體現下降，而且還會帶來以下這些一系列的影響。那我們一起來看看潔凈室相對濕度操控欠好會有什么具體的影響吧！

　　１、細菌成長

　　細菌和其他生物污染（霉菌，病毒，真菌，螨蟲）在相對濕度超越６０％的環境中能夠活潑地繁衍。一些菌群在相對濕度超越３０％時就能夠添加。而相對濕度處于４０％至６０％的規模之間時，能夠使細菌的影響以及呼吸道感染降至最低。所以無塵車間的相對濕度需要操控在必定規模。

　　２、簡單形成潔凈室里的金屬腐蝕

　　很多化學反響的速度，包括腐蝕過程，將跟著相對濕度的增高而加快。所有暴露在無塵車間周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時，高濕度能夠使反響加速。一些金屬，例如鋁，能夠與水形成一層維護型的氧化物，并阻撓進一步的氧化反響；另一種金屬，例如氧化銅，是不具有維護才能的。在高濕度的環境中，銅制外表更簡單遭到腐蝕。

　　３、呈現靜電荷

　　當相對濕度超越５０％時，靜電荷開端敏捷散失，可是當相對濕度小于３０％時，它們能夠在絕緣體或者未接地的外表上繼續存在很長一段時間。潔凈室相對濕度在３５％到４０％之間能夠作為一個令人滿意的折中，半導體無塵車間一般都使用額定的操控裝置以限制靜電荷的積累。

　　４、吸水性

　　相對濕度操控欠好，對潔凈室吸水性產出必定的影響。

　　５、水汽冷凝

　　在相對濕度較高的潔凈室環境中，濃縮水形的毛細管力在顆粒和外表之間形成了連接鍵，能夠添加顆粒與硅質外表的黏附力。這種效應稱為凱爾文濃縮，便是當相對濕度小于５０％時并不重要，但當相對濕度在７０％左右時，就成為顆粒之間黏附的首要力量。

　　６、人體皮膚枯燥

　　如果潔凈車間濕度過高會使人覺得氣悶，而濕度低于３０％則會讓人感覺枯燥，皮膚皸裂，呼吸道不適以及情感上的不快，從而影響工作。

　　７、潔凈車間光刻的退化

　　在半導體潔凈車間中最迫切需要適度操控的是光刻膠的敏感性。因為光刻膠對相對濕度極為敏感的特性，它對相對濕度的操控規模的要求是最嚴格的。相對濕度和溫度關于光刻膠穩定性以及準確的尺度操控都是很關鍵的。乃至是在恒溫條件下，光刻膠的粘性將跟著相對濕度的上升而敏捷下降。當然，改動粘性，就會改動由固定組分涂層形成的維護膜的厚度。

　　此外，在高的相對濕度環境下，因為水分的吸收，使烘烤循環后光刻膠膨脹加重。光刻膠附著力相同也能夠遭到較高的相對濕度的負面影響；較低的相對濕度（約３０％）使光刻膠附著愈加簡單，乃至不需要聚合改性劑，如六甲基二硅氮烷（ＨＭＤＳ）。

文章源自：江門潔凈工程 124xh.cn