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3.萬級恒溫恒濕無塵車間1

2022-11-17 375

什么是無塵室(無塵車間),無塵等級劃分標準

無塵車間(潔凈室)等級大體可以分為十萬級、萬級、千級、百級、十級。數字越小,潔凈等級越高。


10級的潔凈室凈化工程主要用于帶寬小于2微米的半導體工業。百級潔凈室可用于醫藥工業的無菌制造工藝等,這一潔凈室凈化工程大量應用于,手術室,包括移植手術,集成器的制造、隔離病房等等。


空氣潔凈度等級(air cleanliness class):潔凈空間單位體積空氣中,以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進行劃分的等級標準。


無塵車間等級劃分主要根據換氣次數,塵埃粒子、微生物的多少來劃分。

國內按空態、靜態、動態對無塵車間進行測試、驗收,符合《GB50073-2013 潔凈廠房設計規范》、《GB50591-2010潔凈室施工及驗收規范》。


那什么是靜態、空態、動態呢?


1)、靜態

靜態a:指潔凈室(區)在凈化空氣調節系統已安裝完畢且功能完備的情況下,生產工藝設備已安裝、潔凈室(區)內沒有生產人員的狀態。

靜態b:指潔凈室(區)在生產操作全部結束,生產操作人員撤離現場并經過20 min自凈后。


2)、動態

指潔凈室(區)已處于正常生產狀態,設備在指定的方式下進行,并且有指定的人員按照規范操作。


3)、空態

指潔凈室(區)在凈化空氣調節系統已安裝完畢且功能完備的情況下,但是沒有生產設備、原材料或人員的狀態。


通過以上釋義,我們可以匯總如下表:



潔凈室(Clean Room),亦稱為無塵室或潔凈室。 「潔凈室」是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。 潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為「潔凈室」。

潔凈度和控制污染的持續穩定性,是檢驗無塵車間質量的核心標準,該標準根據區域環境、潔凈程度等因素,分為若干等級,常用的有國際標準和國內區域行業標準。


ISO14644-1國際標準—空氣潔凈度等級劃分

GB50073-2013國家標準—空氣潔凈度等級

中國GMP(2010年修訂)新版GMP附錄1無菌藥品.第三章.第九條……潔凈區各級別空氣懸浮粒子的標準規定如下

各國潔凈度等級近似對照表

無塵車間(潔凈室)等級說明


首先是等級定義的模式如下:


Class X (at Y μm )

其中X是無塵室的等級,例如100或10000等等,Y是粒徑如0.2μm , 0.5μm等,可復選。意思就是使用者規定,該無塵室微粒含量,在這些粒徑必須滿足該等級的限度。這樣可以減少紛爭,以下是幾個例子:

Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)

Class 100(0.2μm , 0.5μm )

Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )

在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100,1000,10000....),一般看一個粒徑即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10,1.... ),一般要看多幾個粒徑。


第二個技巧是規定無塵室的狀態,例如:

Class X (at Yμm ),At-rest

供貨商就很清楚知道無塵室要在At-rest狀態下驗收。


第三個技巧是自訂微粒濃度上限,一般在As-built時無塵室都很干凈,微粒控制能力測試不易,這時可以干脆把驗收上限壓低,例如:

Class 10000 (0.3μm <= 10000),As-built

Class 10000 (0.5μm <= 1000),As-built

這樣做的目的是確保無塵室在Operational狀態時,依然有足夠的微粒控制能力。